表面缺陷检查装置

摘要

本创作的表面缺陷检查装置系由：具备为观察被检查材料的轨道所设的显微镜、输入为特定被检查材料的径方向与轨道的周方向位置的位置信号，将以产生伤痕的该位置信号所特定的轨道位置控制于显微镜的视域内之控制部，以及利用此控制部的输出信号使被检查材料在周方向与径方向移动之驱动部所构成。

主权项

一种表面缺陷检查装置,具备: 显微镜:用以观察具有多数轨道之记 录媒体或其压印母板等被检查材料; 缺陷位置检测部:用以检出缺陷种类 、大小及位置等资讯; 控制部:接受来自缺陷位置检测部之 用以规定被检查材料之径方向之圆周向位 置之讯号,并将由缺陷之位置讯号所规定 之轨道位置控制于显微镜之观察范围内; 驱动部:依据控制部之输出讯号令被 检查材料朝圆周方向及径方向移动。