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发明名称 FORMATION OF CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04186895(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900314420 申请日期 1990.11.21
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 OGASAWARA SHUICHI;NIHEI TOMOMICHI
分类号 H01L21/60;H05K3/18 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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