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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04186841(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900314311 申请日期 1990.11.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IWAMURA SHIRO
分类号 H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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