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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04313217(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910078928 申请日期 1991.04.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAMIMURA TAKAAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/26 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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