| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0517289(A) |
申请公布日期 |
1993.01.26 |
| 申请号 |
JP19910197153 |
申请日期 |
1991.07.11 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKASHI;INADA TOMOKI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B27/02;C30B29/42 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
