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发明名称 SUBSTRATE HOLDER FOR LIQUID PHASE EPITAXYAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH0517284(A) 申请公布日期 1993.01.26
申请号 JP19910185865 申请日期 1991.07.01
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 ORAKU SATOSHI
分类号 C30B19/06;C30B29/48;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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