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发明名称
摘要
申请公布号
US4609809(B1)
申请公布日期
1993.01.26
申请号
US19840590344
申请日期
1984.03.16
申请人
HITACHI LTD
发明人
HIROSHI YAMAGUCHI;AKIRA SHIMASE;TATEOKI MIYAUCHI;MIKIO HONGO
分类号
H01L21/3213;B23K15/08;B23K17/00;G03F1/00;H01J37/305;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):B23K15/00
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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