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经营范围
发明名称
SUBSTRATE SURFACE CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0529292(A)
申请公布日期
1993.02.05
申请号
JP19910336307
申请日期
1991.11.25
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
TANAKA MASATO
分类号
H01L21/302;H01L21/304
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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