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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0529550(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910206169 申请日期 1991.07.24
申请人 NEC CORP 发明人 KAJI NAOTO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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