发明名称 ARRANGEMENT DESIGNING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0535822(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910189651 申请日期 1991.07.30
申请人 NEC CORP 发明人 YABE MASASHI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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