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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547703(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910206669 申请日期 1991.08.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA SHINJI;TAKAHASHI MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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