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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICODUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0548046(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910201033 申请日期 1991.08.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMURA HAJIME;YOSHIDA MASANOBU
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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