| 发明名称 |
DEVICE FOR CORRECTING POSITION OF ELECTRIC PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0560790(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910225980 |
申请日期 |
1991.09.05 |
| 申请人 |
KOUDO EIZOU GIJUTSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
SHIMOBAYASHI TAKASHI |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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