发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582694(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910272049 申请日期 1991.09.24
申请人 NEC CORP 发明人 OTSUBO AKIHIDE
分类号 H01L21/56;H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址
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