发明名称 VAPOR DEPOSITION METHOD BY ENERGY BEAM
摘要
申请公布号 JPH05106028(A) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 JP19910295111 申请日期 1991.10.14
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 UCHIHARA MASATO;TAKASO MASASHI
分类号 C23C14/28;C23C14/30 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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