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<p>Eine Druckmessanordnung hat eine Drucksensorstruktur mit einer druckabhängigen Messkapazität, einer druckunabhängigen Referenzkapazität und einer Auswertungsschaltung, die durch Kapazitätsmessung den Druck ableitet. Zur Verringerung des Linearitätsfehlers ist bei der erfindungsgemässen Druckmessanordnung die weitere Kapazität durch eine auf der Membran der Drucksensorstruktur ausgebildete weitere Elektrode (138) als druckabhängige Kapazität realisiert, wobei die Meßelektrode (118) und die weitere Elektrode jeweils in Abhängigkeit von dem Radius eine sich entgegengesetzt zueinander ändernde Winkelerstreckung haben, und wobei die Übertragungsfunktion der Auswertungsschaltung proportional zur Differenz der Messkapazität (Cs1) und der konstanten Referenzkapazität (Cr1) sowie umgekehrt proportional zu der druckabhängigen weiteren Kapazität (Cf1) ist.</p> |
