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发明名称 IONENIMPLANTIERTE GAAS-BAUELEMENTE.
摘要
申请公布号 DE3879459(T2) 申请公布日期 1993.06.24
申请号 DE19883879459T 申请日期 1988.06.27
申请人 GEC-MARCONI LTD., STANMORE, GB 发明人 BLUNT, TREVOR, ROY, NORTHANTS NN7 3PJ, GB;STIRLAND, JOHN, DEREK, NORTHANTS NN12 8SB, GB
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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