发明名称 FORMATION OF EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH05166721(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910351858 申请日期 1991.12.12
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 KOBAYASHI RYUJI;KATO KANAME
分类号 H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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