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发明名称 METHOD FOR GENERATING PLASMA OF HIGH ATMOSPHERIC PRESSURE AND HIGH DENSITY
摘要
申请公布号 JPH05166595(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910328562 申请日期 1991.12.12
申请人 FUJI DENPA KOKI KK 发明人 SHIMADA RYUICHI;MINO KAORU;OKU KEIICHIRO;SUMITOMO HIROYASU
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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