发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05166936(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19920045170 申请日期 1992.03.03
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 MURATA MICHIAKI;KOJIMA HITOSHI;SHIRAISHI KEIKO
分类号 H01L21/318;H01L21/768 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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