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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190543(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920006107 申请日期 1992.01.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ICHIKAWA MASAAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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