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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05206100(A)
申请公布日期
1993.08.13
申请号
JP19920010643
申请日期
1992.01.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
WATARAI YUTAKA;BABA HIROYUKI
分类号
H01L21/306;H05B3/44
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
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