发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05226594(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920061361 申请日期 1992.02.15
申请人 NEC CORP 发明人 KITAMURA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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