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发明名称 Verfahren und Vorrichtung eines dünnen Films mit einer grossen Oberfläche durch Zerstäubung aus einer Verbindung.
摘要
申请公布号 DE3883422(D1) 申请公布日期 1993.09.30
申请号 DE19883883422 申请日期 1988.05.11
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 FUJIMORI, NAOJI C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI HYOGO-KEN, JP;HARADA, KEIZO C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI HYOGO-KEN, JP;YAZU, SHUJI C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI HYOGO-KEN, JP;JODAI, TETSUJI C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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