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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer niedergeschlagenen Schicht.
摘要
申请公布号 DE3784541(T2) 申请公布日期 1993.09.30
申请号 DE19873784541T 申请日期 1987.04.15
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SANO, MASAFUMI, NAGAHAMA-SHI SHIGA-KEN, JP
分类号 C23C16/02;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C30B25/02;C30B28/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/04 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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