PLASMA MONITOR DEVICE OF PLASMA TREATMENT APPARATUS,申请号JP19920058405-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA MONITOR DEVICE OF PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH05259250(A)	申请公布日期	1993.10.08
申请号	JP19920058405	申请日期	1992.03.16
申请人		发明人
分类号	C23C14/54;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;G01N21/73;H01L21/31;H01L21/66;H05H1/00;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
主权项
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