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发明名称
ETCHING METHOD OF INGAP AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05267276(A)
申请公布日期
1993.10.15
申请号
JP19920064197
申请日期
1992.03.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/308;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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