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发明名称 FORMATION OF SILICIDE
摘要
申请公布号 JPH05267212(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920092390 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/225;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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