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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267296(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920058668 申请日期 1992.03.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/318;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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