发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05325868(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920127700 申请日期 1992.05.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAZAWA KAZUHIRO;ABE TAKAYUKI;ITO AKIO
分类号 G01R19/00;G01R31/302;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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