发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH069299(A) 申请公布日期 1994.01.18
申请号 JP19910294212 申请日期 1991.11.11
申请人 TOKIN CORP 发明人 ONODERA KOICHI
分类号 C30B11/00;C30B27/02;C30B29/48;C30B33/02;(IPC1-7):C30B29/48 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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