发明名称 DIRECTION CHANGING CONVEYING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH069041(A) 申请公布日期 1994.01.18
申请号 JP19920108905 申请日期 1992.03.31
申请人 FUJI TATSUKU:KK 发明人 HAMAMOTO EITARO
分类号 B65G47/30;B65G47/53;B65G47/68;B65G47/80;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G47/80 主分类号 B65G47/30
代理机构 代理人
主权项
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