发明名称 MULTICHANNEL INPUT INSPECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0666602(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219073 申请日期 1992.08.18
申请人 NEC CORP 发明人 KENMOCHI AKIHISA
分类号 G01D21/00;(IPC1-7):G01D21/00 主分类号 G01D21/00
代理机构 代理人
主权项
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