| 发明名称 |
A guard ring for a differentially pumped seal apparatus. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0312066(B1) |
申请公布日期 |
1994.06.08 |
| 申请号 |
EP19880117059 |
申请日期 |
1988.10.13 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
YOUNG, LYDIA J.;HOWARD, GLEN E. |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H01J37/18;H01J37/301;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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