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发明名称
SEMICONDUCTOR PACKAGE
摘要
申请公布号
JPH06163609(A)
申请公布日期
1994.06.10
申请号
JP19920334926
申请日期
1992.11.24
申请人
SERIZAWA SEIICHI
发明人
SERIZAWA SEIICHI;IGAWA MASAHIRO;TAKASAKI TAKAHARU
分类号
C23C18/52;C23C30/00;H01L21/52;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/52
主分类号
C23C18/52
代理机构
代理人
主权项
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