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发明名称 FORMATION OF METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH06163706(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920314996 申请日期 1992.11.25
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YAMAMOTO HIROSHI;TAKEYASU NOBUYUKI;KATAGIRI TOMOHARU;OOTA TOMOHIRO
分类号 C23C14/34;C23C14/06;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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