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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163463(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920311628 申请日期 1992.11.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO YOICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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