发明名称 ION ACCELERATOR
摘要
申请公布号 JPH06163192(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920338134 申请日期 1992.11.25
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 AGAWA YOSHIAKI
分类号 H05H5/03;H05H7/14;(IPC1-7):H05H5/03 主分类号 H05H5/03
代理机构 代理人
主权项
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