| 摘要 |
本发明之目的在提供可以期求轨道之长寿命化之同时，圆偏光化之电射光以不降低圆偏光率之状态下不传送至加工点，而且经由简单构成，可以减少加工头之可动范围内之光束直径变化减少之雷射加工机。本发明之雷射加工机系将：(1) Y 臂18之重心位置取在配置于 X 轴上之一对轨道24a ， 24b 间。(2) 第 1 弯镜 17a 使用圆偏光镜之同时，前述第 2 ～第5 弯镜 17b ～ 17e 由抵消弯镜固有之相位偏移量之方式配置。(3) 校准透镜 39 由光束腰部在加工头 5 之可动范围之大约中间位置之方式配置。 |
