发明名称 INTERFEROMETER FOR DETERMINING CHARACTERISTICS OF AN OBJECT SURFACE
摘要
申请公布号 EP1853874(B1) 申请公布日期 2009.09.02
申请号 EP20060718763 申请日期 2006.01.19
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 DE LEGA, XAVIER, COLONNA;DE GROOT, PETER
分类号 G01B9/02;G01B11/06 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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