| 发明名称 | 基板输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明的基板处理装置包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的基板暂时存留后输出，该缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的收纳部，并且，在基板盒和输送部之间交接基板。结果，能够抑制输送路径上的基板输送的停止。 | ||
| 申请公布号 | CN101523590A | 申请公布日期 | 2009.09.02 |
| 申请号 | CN200780036982.8 | 申请日期 | 2007.02.05 |
| 申请人 | 株式会社IHI | 发明人 | 平田贤辅;水野智夫 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张 雨 |
| 主权项 | 1. 一种基板输送装置，包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的所述基板暂时存留后输出，所述缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个所述基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的所述收纳部，并且，在所述基板盒和所述输送部之间交接所述基板。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||