发明名称 |
用于观察样品表面的设备和方法 |
摘要 |
一种用于观察样品(1)的表面(2)的外观的设备,包括用于从预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2)的装置。用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2)位于不同方向的多个基本平面镜(8)。所述装置还包括用于观察所述平面镜(8)的光学系统(6,14)。每个平面镜(8)反射所述样品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6,14)的图像接收部分(6)。 |
申请公布号 |
CN101523195A |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
申请号 |
CN200780037110.3 |
申请日期 |
2007.09.28 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
S·瓦德曼 |
分类号 |
G01N21/47(2006.01)I;A61B5/103(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/47(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
李亚非;刘 红 |
主权项 |
1. 一种用于观察样品(1)的表面(2)的外观的设备,包括用于从预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2)的装置,其特征在于,用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2)位于不同方向的多个基本平面镜(8)以及用于观察所述平面镜(8)的光学系统(6,14),由此每个平面镜(8)反射所述样品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6,14)的图像接收部分(6)。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |