PVD纳米复合陶瓷涂层螺杆及其制造方法

摘要

本发明提供的PVD复合陶瓷涂层螺杆，螺杆基体[7]上附着依次由粘结层、主耐磨层和润滑层构成的涂层[6]。上述螺杆的制造方法：先在0.1Pa气压条件下沉积50～100纳米厚的过渡金属粘结层；然后在350～400℃、-50V～-200V偏压、0.2～1Pa气压条件下沉积2～5微米厚的复合陶瓷涂层为主耐磨层，最后在100～150℃、-50V～-150V偏压、0.1～0.5Pa气压条件下沉积1～3微米厚的过渡金属掺杂类金刚石碳膜层为润滑层。与现有技术相比，本发明螺杆硬度高(Hv硬度达40GPa以上)，耐磨性能好(摩擦系数约为0.1)，具备润滑性能。本发明方法无污染，涂层附着力强。

主权项

1、一种PVD复合陶瓷涂层螺杆，包括经过渗氮处理的螺杆基体，其特征是螺杆基体上由内至外依次附着有粘结层、主耐磨层和润滑层，其中，粘结层是厚度为50～100纳米的过渡金属Cr或者Ti或者Zr层，主耐磨层是厚度为2～5微米的Cr或者Ti或者Zr的氮化物与氮化碳构成的复合陶瓷涂层，表面润滑层是厚度为1～3微米Cr或者Ti或者Zr和C构成的过渡金属掺杂类金刚石碳膜层。