发明名称 |
HIGH RESOLUTION, DYNAMIC POSITIONING MECHANISM |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1646912(B1) |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
申请号 |
EP20040757003 |
申请日期 |
2004.07.14 |
申请人 |
NEWPORT CORPORATION |
发明人 |
JEANNE, ALAIN;DURAND, ERIC;DESAILLY, ROGER |
分类号 |
G03B27/58;B25B5/08;G01B11/00;G03B27/42;G03F7/20;H01L;H02K41/00 |
主分类号 |
G03B27/58 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|