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发明名称 HIGH THROUGHPUT SERIAL WAFER HANDLING END STATION
摘要
申请公布号 EP2095401(A2) 申请公布日期 2009.09.02
申请号 EP20070862406 申请日期 2007.11.30
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FERRARA, JOSEPH;MITCHELL, ROBERT
分类号 H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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