| 发明名称 |
Polishing liquid for barrier layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1813658(A3) |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
| 申请号 |
EP20070002007 |
申请日期 |
2007.01.30 |
| 申请人 |
FUJIFILM CORPORATION |
发明人 |
KAMIMURA, TETSUYA;TAKENOUCHI, KENJI |
| 分类号 |
C09G1/02;B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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