激光加工方法

摘要

一种激光加工方法，使聚光用透镜(108)沿着含切割预定线(5)的线(50)相对地移动，透镜(108)位于在加工对象物(1)与外框(22)之间具有外形的加工区域(30)上时，将测定用激光(L2)以透镜(108)聚光，检测加工对象物(1)的表面(3)所反射的激光(L2)的反射光。通过该检测，将表面(3)与透镜(108)的距离一边调整为大致一定的方式，一边以透镜(108)将激光(L1)聚光，以使加工用激光(L1)的聚光点(P)对焦在距表面(3)一定距离的位置，在加工对象物(1)的内部形成熔融处理区域(13)。

主权项

1. 一种激光加工方法，用聚光用透镜将聚光点对焦在设于环形外框的可扩张薄片所粘贴的板状加工对象物的内部，照射加工用激光，由此沿着上述加工对象物的切割预定线，在上述加工对象物的内部形成成为切割起点的改性区域，其特征为，包含：设定在上述加工对象物与上述外框之间具有外形的加工区域的工序；使上述聚光用透镜和上述加工对象物的至少一方沿着包含上述切割预定线的线上相对地移动，在上述聚光用透镜位于上述加工区域上时，用上述聚光用透镜将测定用激光朝着上述加工区域聚光，检测在上述加工对象物的激光照射面所反射的上述测定用激光的反射光，由此一边调整上述激光照射面与上述聚光用透镜的距离，以使上述加工用激光的聚光点以上述激光照射面为基准对焦在预定的位置，一边用上述聚光用透镜使上述加工用激光朝着上述加工对象物聚光，在上述加工对象物的内部形成上述改性区域的工序。