| 发明名称 | 制造透明导电氧化物涂层的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种生成透明导电氧化物涂层(TCO层)，特别是用作薄片太阳能电池的透明接触的透明导电氧化物涂层的方法。该TCO层至少由高电导率第一层和低电导率第二层构成，其中第二层通过DC溅射至少一个含氧化锌以及铝的靶4生成，并且工艺气氛包含氧气。此外，本发明还涉及TCO层以及基于CIGS和CdTe的薄片太阳能电池。 | ||
| 申请公布号 | CN101521247A | 申请公布日期 | 2009.09.02 |
| 申请号 | CN200810130748.8 | 申请日期 | 2008.07.14 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 卓阿克姆·沐勒;刘健;斯蒂芬·威尔德 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 肖善强 |
| 主权项 | 1. 用于生成透明导电氧化物涂层特别是用作薄片太阳能电池(10，20)的透明接触的透明导电氧化物层的方法，所述透明导电氧化物涂层至少包括高电导率第一层(16，22)和极低电导率第二层(15，23)，所述方法特征在于：第二层(15，23)是通过在包含氧气的工艺气氛中DC溅射至少一个含有氧化锌以及铝、铟、镓或硼或其组合的靶(4)而生成的。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||