发明名称 |
包括铁电层的数据记录介质及制造该数据记录介质的方法 |
摘要 |
本发明提供一种包括铁电层的数据记录介质以及制造该数据记录介质的方法。在所述数据记录介质中,阻挡层、导电层和种子层依次堆叠在基板上。数据记录层在种子层上形成并具有竖直的剩余极化。 |
申请公布号 |
CN100536024C |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
申请号 |
CN200610007698.5 |
申请日期 |
2006.02.17 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
洪承范;金允锡;金承贤;卢光洙 |
分类号 |
G11C11/22(2006.01)I;H01L21/8239(2006.01)I;H01L27/105(2006.01)I |
主分类号 |
G11C11/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郭鸿禧;李云霞 |
主权项 |
1、一种数据记录介质,包括:基板;堆叠在所述基板上的阻挡层;堆叠在所述阻挡层上的导电层;在所述导电层上形成的种子层;在所述种子层上形成的数据记录层,所述数据记录层具有竖直的剩余极化,其中,所述种子层是TiO2层、Bi2O3层和PbTiO3层中的一种,其中,所述数据记录层是PZT层、BST层、SBT层和BLT层中的一种。 |
地址 |
韩国京畿道 |