角速度传感器

摘要

一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。

主权项

1.一种角速度传感器，其特征在于，具备：由构成音叉的一对臂部和一体地保持前述臂部的一体区域部构成的具有音叉形状的基板；设置在前述臂部上使前述臂部振动的驱动部；检测由前述驱动部产生的振动的监视部；以及检测施加了角速度时的振动的位移的检测部；其中前述驱动部、前述监视部和前述检测部各自均由形成在前述臂部上的下部电极层、形成在前述下部电极层上的压电薄膜、和形成在前述压电薄膜上的上部电极层构成，前述压电薄膜的外周端部为具有至少一个平坦部的阶梯形状，而且在前述外周端部的前述平坦部上不设置前述上部电极层。